[文章導讀] 等離子清洗設備在對金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等諸多領域的應用研究開始蓬勃發(fā)展，形成向多學科交叉的研究方向。

等離子清洗設備（點擊了解詳情）中低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當，所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體。

等離子清洗設備的低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反應所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應，因此等離子清洗設備被用來對材料表面進行改性處理。與傳統(tǒng)的方法相比，等離子清洗設備表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優(yōu)點，等離子清洗設備同時可以得到傳統(tǒng)的化學方法難以達到的處理效果。二十世紀七八十年代起，等離子清洗設備在對金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等諸多領域的應用研究開始蓬勃發(fā)展，形成向多學科交叉的研究方向。

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