[文章導(dǎo)讀] 材料去除機(jī)理的研究對(duì)精密超精密制造具有重要意義。一種新穎集成連帶運(yùn)動(dòng)原理的線性執(zhí)行器的劃痕裝置可以安裝在掃描電子顯微鏡（SEM）臺(tái)上進(jìn)行原位劃痕試驗(yàn)。

材料去除機(jī)理的研究對(duì)精密超精密制造具有重要意義。一種新穎集成連帶運(yùn)動(dòng)原理的線性執(zhí)行器的劃痕裝置可以安裝在掃描電子顯微鏡（SEM）臺(tái)上進(jìn)行原位劃痕試驗(yàn)。

通過掃描電子顯微鏡（SEM）內(nèi)的原位納米劃痕試驗(yàn)，可以研究了殘留切屑對(duì)塊體金屬玻璃（BMG）材料去除過程的影響。在刮擦過程中整個(gè)BMG的去除過程被實(shí)時(shí)捕獲。通過SEM動(dòng)態(tài)觀察立方角壓頭前刀面上片狀切屑的形成和生長(zhǎng)情況。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)大量切屑堆積在壓頭的前刀面上，阻礙物料向前流動(dòng)時(shí)，物料會(huì)橫向向下流動(dòng)，尋找新的切屑形成位置和方向。由于類似的材料去除過程，原位納米劃痕試驗(yàn)有望成為研究單點(diǎn)金剛石車削、單粒度磨削、機(jī)械拋光和光柵制造材料去除機(jī)理的有力研究工具。

本文章出自北京歐倍爾，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。